Consumption Optimization in CMP Processes

نویسندگان
چکیده

برای دانلود باید عضویت طلایی داشته باشید

برای دانلود متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

economic optimization and energy consumption in tray dryers

دراین پروژه به بررسی مدل سازی خشک کردن مواد غذایی با استفاده از هوای خشک در خشک کن آزمایشگاهی نوع سینی دار پرداخته شده است. برای آنالیز انتقال رطوبت در طی خشک شدن به طریق جابجایی، یک مدل لایه نازک برای انتقال رطوبت، مبتنی بر معادله نفوذ فیک در نظر گفته شده است که شامل انتقال همزمان جرم و انرژی بین فاز جامد و گاز می باشد. پروفایل دما و رطوبت برای سه نوع ماده غذایی شامل سیب زمینی، سیب و موز در طی...

15 صفحه اول

Techniques for reducing power consumption in CMP NUCA caches

Current trend of technology scaling makes it possible to put a huge number of transistors on a single die. While dynamic power consumption can benefit from technology scaling, static power consumption get worse, thus making the latter the dominant factor of power consumption in future microprocessor systems. As on-chip cache memories require the most part of chip area and number of transistors,...

متن کامل

Techniques for reducing power consumption in CMP Nuca cache

Current trend of technology scaling makes it possible to put a huge number of transistors on a single die. While dynamic power consumption can benefit from technology scaling, static power consumption get worse, thus making the latter the dominant factor of power consumption in future microprocessors system. As on-chip cache memories require the most part of chip area and number of transistors,...

متن کامل

Performance-Aware CMP Fill Pattern Optimization

CMP fills are inserted to make metal density uniform and hence reduce post-polish height variations. Classical methods to insert fills focus on metal density uniformity, but do not take into consideration or are unable to minimize the impact of fills on circuit performance. In this paper, we develop a fill insertion method that heuristically minimizes coupling capacitance increase due to fill. ...

متن کامل

Characterization and Optimization of the Cmp Process

In the Chemical Mechanical Polishing (CMP) process used for microelectronics manufacturing, three contact regimes between the wafer surface and the polishing pad may be proposed: direct contact, mixed or partial contact, and hydroplaning. An effective in-situ method for characterizing the wafer/pad contact and a systematic way of relating contact conditions to the process parameters are both la...

متن کامل

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

سال: 2009

ISSN: 1881-3054

DOI: 10.1299/jamdsm.3.47